paso a paso

Un paso a paso es una máquina que se utiliza para proyectar la imagen de un circuito en la fabricación de semiconductores fotolitográficos. 

El paso a paso conduce la exposición a la luz a través de una máscara para proyectar la imagen del circuito, muy similar a una imagen negativa en una fotografía estándar. Así es como funciona: el paso a paso se carga con obleas de silicio con un revestimiento fotorresistivo. Un brazo robótico agarra una oblea y la coloca en un escenario de oblea. La oblea se alinea y luego se proyecta luz (quizás ultravioleta extrema) a través de una placa de cuarzo con un patrón cromado de los circuitos que se crearán.

Este proceso endurece una capa fotorresistiva en la placa de circuito impreso (PCB) o la oblea de silicio. Las áreas endurecidas se quedan atrás en forma de rutas de circuito de PCB y CPU. Las áreas no expuestas se disuelven luego en un baño de solución, típicamente un ácido en métodos húmedos o iones de oxígeno similares al plasma en métodos secos.

Vea una demostración simple de fotolitografía de la exposición "Demasiado pequeño para ver" en la instalación de nanotecnología de Cornell: